勻膠旋涂?jī)x的運(yùn)行可以按基片旋轉(zhuǎn)速度及膠質(zhì)的變化，分為4個(gè)階段：滴膠，加速旋轉(zhuǎn)，勻速旋轉(zhuǎn)以及去邊，其中第3階段勻速旋轉(zhuǎn)階段是膠質(zhì)涂層厚度和均勻性控制的重要階段。在滴膠前，膠質(zhì)需經(jīng)過(guò)亞微米級(jí)別的過(guò)濾處理，否則薄膜有可能形成彗星圖，星狀圖，或產(chǎn)生氣泡。

　　滴膠階段是將膠質(zhì)溶劑沉積在基片上中心位置的過(guò)程。可以手動(dòng)滴加，或用配備的自動(dòng)滴膠器滴加。一般而言，自動(dòng)滴膠方式由于是自動(dòng)機(jī)械化操作，薄膜的厚度，均勻性，及可重復(fù)性都很好，并且也可以減少易揮發(fā)的毒性氣體與身體接觸。而手動(dòng)滴膠是人工操作，適合要求不高的薄膜制備。

　　勻膠旋涂?jī)x選購(gòu)時(shí)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)：

　　1、旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤差很大，對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國(guó)產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能準(zhǔn)確標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒(méi)有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。

　　2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

　　真空泵一定要無(wú)油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的無(wú)油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿溃绻婵瘴搅档?，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過(guò)國(guó)產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問(wèn)題，這一點(diǎn)許多國(guó)外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò)，他們有通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì)開(kāi)始旋轉(zhuǎn)。

　　3、材質(zhì)的選擇

　　對(duì)于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō)，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對(duì)于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對(duì)于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí)，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。目前有些國(guó)外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。